半导体用气的性质

把常用的气体按其用途分类列于下表。它们的共同点是无色、透明，具有不愉快的味道；除一、两种外，比重都比空气大，且随温度上升而分解。

对人体的毒性

从上面可以看出，这些气体对人体有害。它们不仅在化学上不稳定，还会影响人体血液、神经或内脏。因此，处理这些气体更加困难。有些气体的允许浓度很低，根据吸入量，有些气体会在很短的时间内危及生命。

如果发生气体泄漏或吸入，必须根据气体类型进行适当处理。